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直读光谱仪的光栅制作

发布时间:2022-08-23 09:14:39         点击:193

       直读光谱仪中一个重要部件就是光栅,其是一种分光元器件,将复合光色散。使不同波长的光色散或分光。

       分光元器件有棱镜和光栅二种,以棱镜为色散元件做成的分光仪,有水晶、玻璃、萤石等多种分光仪。以光栅为色散元件的分光仪又有平面衍射光栅或凹面衍射光栅分光仪之分。由于光栅刻划技术和复制技术进一步的提高,光栅已广泛应用于光电直读光谱仪中。

       一般说来,任何一种具有空间周期性的衍屏的光学元件都可以称为光栅,如果在一块镀铝的光学玻璃毛胚上刻划一系列等宽,等距而平行的狭缝就是透射光栅。如在一块镀铝的光学玻璃毛胚上刻出一系列剖面结构象锯齿形状,等距而平行的刻线这就是一块反射光栅。

直读光谱仪的光栅作用

直读光谱仪的光栅作用

       现代光栅是一系列刻划在铝膜上的平行性很好的划痕的总和,为了加强铝膜与玻璃板的结构的结合力,在它们之间镀一层铬膜或钛膜。在光学光谱区采用光栅刻划密度为0.5-2400条/ 毫米。目前大量采用的600条/毫米,1200条/毫米,2400条/毫米。

       为了保持划痕间距d无变化,因此对衍射光栅的刻划条件要求很严。经验证明,对光栅刻划室的温度要求保持0.01-0.0313变化范围,光栅刻划机工作台的水平振动不超过1-3微米,光栅刻划室应该清洁,要避免通风带来的灰尘,光栅刻划室的相对湿度不应超过60-70%。光栅毛胚大多应有学玻璃和熔融石英研磨制成。

       毛胚应该加工得很好,其表面形状和局部误差要求甚严。任何表面误差将使衍射光束的波前发生变形,从而影响成象质量和强度分布。

       为了提高真空紫外区反射率,铝膜上还镀上一层氟化镁。铝膜制造光栅的方法有机械刻划,光电刻划,复制方法和全息照相刻划四种。
 

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